先進製程是吃電怪獸？ 首份半導體水電報告揭：廠務用電才是「房裡的大象」
廠務耗電是「房間裡的大象」 暖化還將抵銷節電努力
DSET昨日發表「氣候變遷與基礎設施韌性：台灣半導體產業水資源與電力使用分析報告」，為國內首度盤點半導體先進製程的用水、用電及相應基礎設施韌性，由DSET及環境權保障基金會共同完成。
台灣的電到底夠不夠半導體先進製程使用？DSET兼任研究員林孟慧表示，報告推估10年內（2025～2035年）電力供需，夜尖峰最大供電能力都高於夜尖峰負載，但2奈米廠剛投產的2025～2027年，備轉容量偶爾低於6%。以總量來看，台灣無缺電疑慮，但初期調度壓力較大。
林孟慧說明，用電需求數據是以最劣情境推估，已考慮能源署的「電力需求年均成長率」和2奈米廠的最高用電量（約1.928GW）。
不過研究團隊推估，暖化將使半導體廠的低溫冰機耗電量在2030年上升3%、2050年上升6%，「這把廠商努力節電的幅度都抵銷掉了」。林孟慧建議半導體業除精進製程節電，也要強化氣候變遷韌性，考量廠務節電來解決「房間裡的大象」。
先進製程採用的極紫外光微影機（EUV），耗能是傳統深紫外光微影機（DUV）的10倍以上，被外界視為半導體業的吃電怪獸。但DSET發現，半導體製程占用電不到五成，最大宗反而是廠務系統用電，包含無塵室、空調、冷卻系統、超純水供應系統等。
半導體產業所在地皆有供水缺口 跨區調水、再生水也難滿足
半導體製程越先進，對水量及水質的要求就越高。研究報告指出，在半導體產業座落的縣市，新竹、台中、台南、高雄，未來都將出現用水缺口。
報告指出，政府針對水資源缺口提出不同手段，但都有侷限。跨區調度水源的「珍珠串計畫」遇大規模乾旱就有實行難度；生活污水處理成再生水，則需投入鉅額資金建設專管引水，還得仰賴政府積極接管；海水淡化供給則較為穩定。
然而報告也指出，無論是海淡水、再生水，都無法完全滿足半導體先進製程越來越高的「超純水」需求。
半導體先進製程的水電大挑戰 台灣如何因應？
半導體帶來水和能源的挑戰。許博任建議，政府可透過投資抵減政策，促使半導體業者積極投資綠能、再生水及其他相關基礎設施建置。
他也認為，地方政府有意吸引半導體產業進駐，就必須投入更多再生水及再生能源規劃。以水為例，再生水不單只有產業區廢水回收，「市政再生水」也是一種水資源。污水接管率過去只被看成生活品質指標，未來可能成為影響地方產業發展的關鍵。
他強調，地方政府終究須重新檢討產業方向，石化與鋼鐵業正面臨全球生產過剩，若調整產業結構，就有機會騰出更多水及能源的餘裕，支持半導體產業發展。
資料來源 :環境資訊中心
